| 产品特性：流量计 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 品牌：ACCUFLOW | 型号：LF-20M-A-EVD1 |
| 测量范围：1 | 测量精度：1 | 产品适用范围：1 |
HORIBA STEC液质流量计LF-20M-A-EVD1气体TDMAT 0.1g/min
深圳市天铉真空技术有限公司
HORIBA STEC 微小液体质量流量计LF-F 质量流量控制器LV-F
HORIBA STEC 微小液体质量流量计LF-F 质量流量控制器LV-F,具备独特冷却测试方式的液体质量流量计，可***
检测低沸点和高粘度液体的流量，仪器内部进行超洁净处理并符合 RoHaS 环境标准
微小液体质量流量计LF-F | 微小液体质量流量控制器LV-F |
提供***微小流量检测 | 提供***微小流量控制 |
可精准检测低沸点和高粘度液液体 | 可精准控制低沸点和高粘度液液体 |
抗压性：10MPa | 抗压性：10MPa |
超洁净 | 超洁净 |
质量流量控制器
型 号 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制 | 5?*** F.S. | ||||
对象液体 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体 | 低于 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直线性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | |||
使用环境 | 5?50℃(15?45℃精度的确保) | ||||
温度影响 | ±0.1%F.S./℃ | ||||
工作差 | 0.05?0.3MPa | ||||
耐 压 | 1MPa | ||||
压力损失 | ー | ||||
流量设定 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出 | 模拟：0?5 VDC(*小负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏 | PO类型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO类型：5×10-12Pa?m3/s (He) | ||||
接液部材质 | PO类型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO类型：SUS316L，Ni | ||||
标准接头 | 1/16”，1/8”卡套； | 1/8”SWL类型，1/8”VCR类型 | 1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
质量流量计
型 号 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5?*** F.S. | ||||
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外 | ||||
液体粘度*2 | 不高于 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直线性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | |||
使用环境温度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的确保) | ||||
温度影響Span | ±0.1%F.S./℃ | ||||
工作差压值值*5 | 不高于5MPa (视为流量计) / 50?300kPa (with piezo控制阀) | ||||
耐压 | 10MPa (视为流量计) | ||||
压力損失 | 不高于 500Pa | ||||
流量设定信号 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟：0?5 VDC ；数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材质 | SUS316L, Ni | ||||
标准接头 | 1/16”，1/8”SWL类型，1/8”VCR类型 | 1/8”SWL类型，1/8”VCR类型 | 1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先***所使用 的液体。)
?不能检测含有固体物的液体。
?如果混合液中混合比会发生变化时，请预***行咨询协商。
?LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 *大值，0.1Pa?s。有关高粘度的液体请预***行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296为准。
*4： 进行测量?控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
