oerlikong莱宝真空低温泵COOLVAC10000iCL维修

尼康光刻机

提供NIKON备件（包含易耗件）

1，常用的马达

*ulhaber minimotor的173：1，30.7：1，41：1等

stage
motor（YASKAWA motor）

bellows
motor

chiba
precision motor

主要用于wafer
loader，wafer stage各部位控制马达

2，常用的手臂

fetch
arm

load/unload arm

3，卤素灯

卤素灯包括NIKON和USHIO

4，LSA
HE-NE激光管，激光干涉计interferometer

5，NIKON其它各类备件，如电路板等

6，NIKON电路板维修（以坏换好）等

深圳市天铉真空技术有限公司AE 霍廷格 赛恩电源镀膜射频匹配器维修

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空，冷表面（低温板）必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。

客户得益

低温泵的优势：

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有极高的抽速

对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2：

与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点：

- 与其他高真空泵相比更加紧凑（抽速大于1500 l x s-1）

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高，使用成本***，尤其是需要大抽速的应用

莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的COOLPOWER双级冷头冷却（Gifford/McMahon原理）。

有关COOLVAC系列低温泵的设计，请见以下示意图的内容。

一级冷头（9）冷却热辐射防护屏和低温泵的障板（6）。

根据泵的型号和工作条件不同，达到45到80K的工作温度，水蒸汽在这里冷凝。

热辐射防护屏和障板为铜质，它们能很好地传递热量，从而优化制冷容量。

另外，热辐射防护屏经过抛光，将反射损失降到尽可能小。二级冷头（7）用于冷却冷伞（8）。

根据工作条件，达到 10到 20 K的工作温度。氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相连。氢气、氖气和氦气被吸附到冷伞上面部分覆盖活性炭上。

COOLVAC制冷机低温泵

COOVAC系列的所有低温泵都配有安全阀（UHV型带有爆破膜），安全阀由工厂设置，过压150mbar（113托）时打开。

为了***在安全阀动作时，安全地排出可能影响健康的气体，安全阀另配有一个 DN 40 KF 法兰，上面可以连接一条排气管线。

低温泵的再生

低温泵工作的一个重要方面是再生。由于低温泵属于气体捕集泵，所以被抽气体都蓄积在泵内，饱和后必须泵排出。

具体操作方法是关闭压缩机并加热低温区到室温或略高的温度，由前级真空泵将释放的气体排出。

非电控再生系统的低温泵这种低温泵通过向泵内吹扫干燥、预热的惰性气体（例如氮气）加热低温区到室温。此情况下，由于低温泵内不可能有确定的和受控制的温度，所以无法排除氢气和氧气同时存在的情况。只有通过干燥惰性气体的稀释作用来防止可燃混合气的形成。

多台低温泵组合操作

由于莱宝真空的压缩机COOLPAK 6000HD功能强大，可以同时驱动两个以上冷头或低温泵。

客户得益

- ***的降低投资和操作成本

- 占地面积小

莱宝真空全自动加热再生低温泵

低温泵通过电加热器将一级和二级冷头加温到室温。此类情况下，低温泵内可以达到确定和受控制的温度分布。这个受控制的加温过程***了气体被连续排出，也就是按以下顺序气体一个接一个

被释放：

-　吸附在冷伞上的气体（例如氢气、　 氦气、氖气）

-　冷凝在冷伞上的气体（例如氮气、　 氧气、氩气）

-　冷凝在障板和热辐射防护屏上的气　 体和蒸汽（例如水蒸汽）

莱宝真空采用的这种电加热再生方法能够防止氢气和氧气之类的气体在泵内同时存在，从根本上排除了可燃混合气形成的可能。

加温过程为全自动，泵内的压强和温度分布，始终由控制系统确定和控制，从而***莱宝真空低温泵再生期间较大限度的安全。

莱宝真空的低温泵分自然再生（BL）和全自动加热再生（iCL）两个系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），单品以对氮气抽速命名（单位l/s），如COOLVAC 1500 iCL对氮气的抽速为1500l/s。可提供从1500到60000l/s的全系列产

品。

在报价清单上，泵名称带有符号“V”的：“V”表示高真空接口位于上端，冷头在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名规则相同，可提供从1500到60000l/s的全系列产品。

3.　特殊低温泵

莱宝真空可以根据客户要求提供***低温泵，如为航天环境模拟应用提供大口径液氮辅助制冷低温泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，详细信息请和我们联系。

典型应用

- 蒸发器

- 溅射系统

- 离子注入机

- 光学镀膜机