| 产品特性：真空 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 品牌：A+QMC | 型号： LF-F40M-A |
| 类型：变面积式流量计 | 测量范围：1m3/h | 精度等级：1 |
| 公称通径：1mm | 适用介质：真空 | 工作压力：1MPa |
| 工作温度：13℃ | 规格：个 |
深圳市天铉真空技术有限公司
日本HORIBA LF-F 系列液体质量流量计
搭载采用了冷却检测方式的流量传感器
特征
通过采用数字回路，实现了高精度?9?9高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型
LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先***所使用 的液体。)
不能检测含有固体物的液体
LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器
LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 值， 0.1Pa?s。有关高粘度的液体请预***行咨询协商
以SEMI E56-1296 为准。
进行测量?9?9控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
这是在粘度0.001Pa?9?9s中的F.S.流量值。
产品参数
名称 | 质量流量计 | ||||
型号 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5?9?1*** F.S. | ||||
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体粘度*2 | 值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直线性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | |||
使用环境温度*4 | 5?9?150℃(15?9?145℃精度的确保) | ||||
温度影響Span | ±0.1%F.S./℃ 值±1% | ||||
工作差压值值*5 | 值. 5MPa (视为流量计) / 50?9?1300kPa (with piezo控制阀) | ||||
耐压 | 10MPa (视为流量计) | ||||
压力損失 | 值. 500Pa | ||||
流量设定信号 | 模拟：0.25?9?15 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟：0?9?15 VDC(最小负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA-15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材质 | SUS316L, Ni | ||||
标准接头 | 1/16”，1/8” SWL类型，1/8” VCR类型 | 1/8” SWL类型，1/8” VCR类型 | 1/4” SWL类型1/4” VCR类型 |
